全自动晶圆测量系统 , WT-350-AUTO

WT-350-AUTO是一种高精度测量晶圆的形状，如厚度，总厚度变化(TTV)，平面度，翘曲度，

弯曲度和粗糙度的亚微米分辨率和精度，使用单或双(顶部和底部)传感器。 

当测量多个晶圆点的平面度和TTV时，在其独特的用户友好操作程序中预置的电子测绘配方

允许使用最先进的计量传感器和高分辨率XYZ直线电机工作台进行自动测量。 

此外，对于特殊形状的困难样品，如环架背磨薄晶圆、超薄晶圆、taiko晶圆、贴片晶圆、凹凸晶圆等，

WT-350-AUTO系列提供最佳的传感器解决方案，以及最适合的HW配置，以确保更安全的操作，确保无损操作。 

它的可选计量平台还包括表面粗糙度、微三维形貌和薄膜厚度的测量能力。